螺桿真空泵在使用時(shí)常會(huì)用到氮?dú)膺M(jìn)行填充,主要是因?yàn)橛玫獨(dú)鈱?duì)泵進(jìn)行吹掃,可以延緩腐蝕性氣體對(duì)泵的腐蝕,從而起到一個(gè)良好的保護(hù)作用。
?螺桿真空泵為什么要用氮?dú)?/b>,我們可以總結(jié)為以下幾個(gè)原因:
1、螺桿真空泵里沖入氮?dú)馐菫榱嗽谡婵毡脙?nèi)壁形成微弱保護(hù)氣膜,氮?dú)鈮毫Σ灰诉^(guò)大,也不宜過(guò)小,過(guò)大會(huì)影響抽真空效果和增加能耗;過(guò)小可能導(dǎo)致形不成保護(hù)效果。
2、抽腐蝕性氣體的泵會(huì)用到氮?dú)?,氮?dú)鈱?duì)泵進(jìn)行吹掃,延緩腐蝕性氣體對(duì)泵的腐蝕。
3、是真空鍍膜工藝中用到的一些氣體對(duì)螺桿真空泵有腐蝕作用,所以會(huì)采用這種泵。但是墻體里通的氮?dú)夂捅糜玫氖欠珠_的。
4、沖多少單位的氮?dú)夂缶湍苠兡こ鏊麄冃枰念伾?。有些顏色用乙炔。在?shí)際運(yùn)用中,多數(shù)使用氬氣。
5、氣密,稀釋制程氣體。減輕腐蝕及制程附著。
6、氮?dú)庠跊]有一定的溫度、壓力或者是催化劑等輔助條件下,很難與外界發(fā)生反應(yīng)。因此在泵系統(tǒng)清洗過(guò)程中,利用氮?dú)獯祾?,更為安全可靠?br />
7、氮?dú)獾奈綗嵝?,吸附于物體表面的時(shí)間短。當(dāng)?shù)獨(dú)馕接诼輻U真空泵的器壁表面時(shí),將會(huì)很容易被抽走。真空系統(tǒng)清洗中的氮?dú)獯祾哒嚼昧怂倪@個(gè)特性。在真空鍍膜中,用干燥氮?dú)獯祾咔逑催^(guò)真空系統(tǒng)后,氮分子會(huì)首先吸附于真空系統(tǒng)的器壁。由于器壁表面的吸附位是一定的,被氮分子沾滿后,其他的分子如水分子等就會(huì)減少。因而真空系統(tǒng)的整個(gè)抽氣時(shí)間就會(huì)大大減少。
氮?dú)馐且环N穩(wěn)定無(wú)害的氣體,可以很好的對(duì)螺桿真空泵起到保護(hù)作用,有效延長(zhǎng)使用壽命,減緩腐蝕問(wèn)題。
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